美、日出口禁令层层加码的背后，核心零部件国产替代率达几成？

集微网报道，近期，日本经济产业省正式公布《外汇法》修正案，将先进芯片制造设备等23个品类追加列入出口管理名单。该修正案于3月31日对外公布，经过一个月征求公众意见后定稿，并于7月23日正式实施。

据了解，在美国出口禁令层层加码的情况下，国内晶圆厂及半导体设备厂商纷纷寻求“去美化”供应链，并加大对日本和韩国等地上游设备、零部件、原材料的采购。在上述日本修正案出台后，业内才意识到进口日本设备暗藏巨大风险，或需继续调整供应链。此外，修正案对新增管制设备的品类较为宽泛，且表述十分模糊，具体影响仍未可知。

出于上述种种因素考量，业内不仅担心国内晶圆厂无法采购列入出口管制的半导体设备，更忧虑国内半导体设备厂商在采购日本进口零部件时遇阻。

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对华半导体出口限制持续升级

事实上，自去年10月，美国发布针对中国半导体行业的出口管制新规后，就不断向日本、韩国和欧洲施压，要求其加入对中国半导体技术封锁的阵营。

今年3月，荷兰和日本正式响应美方，荷兰政府在致国会函中表明将出台更严格的半导体出口管制措施。在随后的3月31日，日本政府也发布了关于修改出口管制规则省令的征求意见稿，将23类高端半导体制造设备纳入出口管制。

从5月23日正式公布的出口管制政策来看，与之前公布的版本基本一致，并未对限制范围做进一步调整。本次被新增列入出口管制设备品类包括：3项清洗设备、11项薄膜沉积设备、1项热处理设备、4项光刻设备、3项蚀刻设备、1项测试设备。

荷兰方面，荷兰经济部长MickyAdriaansens接受德媒《法兰克福汇报》采访时表示，当局正在制定相关法规，光刻机龙头公司ASML应会很快收到明确指引，有关其可向中国提供哪些产品；预计荷兰当局将于今(2023)年7月可发放相关出口许可证。

由上可知，荷兰与日本的上述出口限制政策都将在今年7月份实施。在具体影响情况方面，虽然日本政府强调（出口管制）影响是有限的，但集微网向多位业内人士询问得知，由于上述规定并未明确，且能否获得出口许可还未可知，产业界仍在评估其影响。

可以明确的是，上述对华的出口限制或许只是开始，美国将会鼓动更多盟友，采取更加全面、更加严苛的制裁措施，来阻碍中国半导体产业发展。伴随着出口限制的一步步升级，中国半导体产业从海外获得技术和产品的难度正在扩大。

零部件依赖进口引担忧

由于上述出口管制新规主要针对先进半导体技术，而国内晶圆厂在应对美国出口管制时，就已经调整发展策略，将目光转移至成熟制程。

在成熟制程方面，中国半导体行业协会集成电路分会理事长叶甜春曾表示，国内在28nm装备和材料已经初步建立供给能力。基于此，无法从日本进口先进制程设备，对国内半导体晶圆厂的影响或许有限，反而是给业内敲响了警钟，或进一步加快半导体设备的国产替代进程。

针对投资者提出的“日本发布的半导体设备出口限制措施对贵公司是否有重大影响？是否会对从日本进口的重要零部件产生阻碍？甚至无法获得？”这一问题，至纯科技也坦言，日本对半导体设备的限制措施中，其中对湿法清洗设备的限制对公司无影响，甚至有可能会加速国内下游厂商采购国产化设备的步伐，对除湿法清洗设备外的其他设备的限制可能会对公司业务产生间接影响，目前尚不确定。公司设备类部分零部件从日韩进口，公司已在国内寻找并培养可替代的国产零部件供应商，今年国产二供的比例争取进一步提升。

相对于已经有所突破的半导体设备，国内在零部件领域的发展更为薄弱。由于半导体设备的生产对零部件的品质要求非常严格，日本、欧美在半导体设备和零部件领域处于绝对的主导地位。目前，全球前二十家集成电路零部件厂商合计占据近60%的市场份额，而在前二十的厂商中，美日厂商各占8家，剩下德国、英国、瑞士、荷兰各一家。因此，核心零部件依赖进口是国内半导体设备企业的普遍情况。

“由于静电卡盘、机械手、运动与控制系统类零部件国产化率较低，公司目前主要向日本、美国等零部件供应商进行采购。”据某国产设备厂商透露，以静电卡盘市场为例，主导企业包括美国AMAT、美国LAM、日本新光电气、日本TOTO、日本NTK等国际巨头，上述企业长期控制着国际静电卡盘产品的供应链，直到近几年国产产品才慢慢取得突破。

中国集成电路零部件创新联盟秘书长李超波也曾表示，在科技部“02专项”的支持下，国产零部件产业也在逐渐兴起，对供应链稳定和自主创新形成了一定程度的支撑；但差距依然巨大，据不完全统计，约50%核心零部件暂无国产替代方案。

具体来看，在各类半导体零部件中，仅金属腔体、过滤器、硅部件及石英件自给率超10%，加热器和真空干泵自给率在5%至10%之间，质量流量计、RF电源及机械手自给率在1%至5%之间，而包括真空阀门、真空规、ESC、密封圈在内的零部件自给率均低于1%。

此外，笔者从业内了解到，为应对美国对零部件的出口限制，部分国产领先的半导体设备厂商2022年已经减少对美国零部件的采购，积极推进供应链国产化的同时，也加大了对日本、韩国、欧洲等地的零部件采购力度，以芯源微为代表的部分半导体厂商甚至特意成立日本子公司，以便公司寻找到更可靠的供应链资源。

从目前来看，日本法案对零部件出口并未有明确限制，但这并不意味着没有威胁，依赖进口终归不是长久之计。无论是以应对美国、日本等国贸易限制措施的进一步升级，还是从提升公司成本效益的角度来考量，国内半导体设备厂商都需要提前防范，加速零部件国产化进程。

正如魏少军教授提到的，全球半导体供应链正在经历大变局，美西方尝试将中国排除在供应链之外，在努力维护现行半导体全球供应链完整性的同时，构建一个强壮的半导体本地供应链已经刻不容缓。

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